Accurionのイメージングエリプソメーターは、エリプソメトリーと光学顕微鏡を1つに統合した製品です。この2つの技術の統合により、エリプソメトリー測定と偏光コントラスト顕微鏡の両方の利点を兼ねそろえた測定装置となっています。イメージングエリプソメーターの高い空間分解能（約1μm）は、微細構造解析、マイクロエレクトロニクス、バイオ分析の新しい分野での測定を可能にします。

ジングエリプソメトリ

• イメージングエリプソメトリーは、微細構造を持つ基板や薄膜サンプルの膜厚や材料の特性評価を得意とする、光学測定のみの完全非接触計測技術です。
• この技術は、顕微鏡イメージングと分光エリプソメトリーの測定原理を組み合わせたものです。位置分解能は約1μmで、通常のエリプソメーターやリフレクトメトリーなど、他の光学計測機器の位置精度の限界を容易に超えることができます。
• 測定は、偏光した光と試料の相互作用に基づいています。光学モデルの理論計算により、測定された偏光特性は、層厚、屈折率、吸収、粗さ、異方性など、試料の物理的特性に変換されます。