イメージングエリプソメーターでは、スペクトルを連続的に測定可能です。一度測定に使用される波長/光子エネルギーは1つだけであるため、スペクトルのターゲット波長ごとに自動的に繰り返し測定が行われます。

当社の分光イメージングエリプソメーターでは、レーザー安定化キセノンランプ、キセノンアークランプ、スーパーコンティニュームレーザーなどの広帯域光源と、グレーティングモノクロメーター、カラーフィルターホイール、音響光学チューナブルフィルター（AOTF）を組み合わせて搭載しています。

分光イメージングエリプソメーターとは？ イメージングエリプソメーターのデータ解析はどのように行われているのでしょうか？